1月15日,星期六。
合痩市。
乘坐高铁的卫明,来到了这座城市。
为此他特意跟樊姐请了两天假,提前处理了三十多名结石病人,合计腾出三天时间,就为了解决掉一个问题。
人才!
高端光刻机的研发人才。
而且卫明已经有了明确的招募目标,他认为的最合适最优秀的人才,就在合瘦市这边。
此人名叫蒲伟才。
卫明是在网上查找相关信息的过程中,看到了多条关于此人的新闻。
也注意到此人带领的研发团队,取得的跟光刻机相关的多项研究成果,了解了此人的牛叉之处。
因为这些天卫明也在大力学习一些跟光刻机相关的知识,了解到了EUV光刻机的几大核心技术。
一个,组装。
光刻机最重要的技术之一是组装,就是把所有的元件组装起来,然后使分辨率达到最高,同时套刻精度达到最佳。
比如机器内部温度的变化要控制在千分之五度,得有合适的冷却方法,精准的测温传感器。一台光刻机中,包含十几个分系统,几万个机械件,数百个的传感器,每一个都要稳定。
二,控制。
光刻机是制造业内对精密性要求最高的产品。光刻的原理就像在米粒大小的面积上,雕刻纳米级大小的文字,对于误差的要求可想而知。
比如光刻机里有2个同步运动的工件台,一个载底片,一个载胶片。两者需始终同步,误差在2纳米以下。两个工作台由静到动,加速度跟导弹发射差不多。
三,光源。
制造EUV需要极高的能量。EUV能被空气吸收,所以光刻环节必须耗电保持真空环境。更夸张的是,EUV还能被透镜吸收,所以只能用十几次面透镜,通过不断反射将光源集中。
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