“许振鸣是外行人，能知道这台光刻机的技术原理么？”

“锦上添花没有雪中送炭来得划算，我还是等到最后再亮出底牌才好。”

犹豫半，梁宋松还是忍住了，没把自己的判断和设想出来。他转过脸去，开始安排自己组的实验流程工序。

这时。

郝宁教授的组成员已经进入状态，把激光能量测试仪、激光光谱分析仪、激光头焦距测试仪等各种仪器调试好，随时可以进入测试状态。

见郝宁教授组的准备工作已经就绪，梁宋松伸手捋了捋头上油光泽亮的头发，表情严肃的下令：“郝教授，咱们开始试验，第一步是测试激光能量的衰减率。”

“开始试验！把能量测试仪调整到自动调节运行状态，每一个0.001毫米的高度测试一组数据。”郝宁扫了一眼梁宋松，随后就进入工作状态。

激光光路系统的能量测试难度非常大，空间高度每相差0.001毫米，激光在空气中消耗的能量就会衰减一个数据级。而激光能量的最终值会影响到激光曝光的强度，影响到芯片光刻物理线路图的精度。

梁宋松之所以把这个测试项目放在第一步，也正是因为如此。但他此时却不慌不忙，好像已经知道测试以后的数据一般。

“第一个节点数据正常，激光能量衰减度低于0.009的数据级。”

“第二个节点数据也正常，能量衰减度低于0.0095的数据级。”

“第三个节点数据更漂亮……”

随着激光能量测试靶子的不断下降，工作站监视器上的数据在不断跳动着。郝宁等人看着数据，嘴里也不自觉的出测试数据的结果。

这些数据都在规定范围之内，表明这套米国佬生产的激光光路系统质量非常稳定。

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