这时，梁宋松也半蹲了下来，目光一直盯着主体系统的接驳机构。他想找出故障的原因，证明自己的猜想没有错。

“我们这台光刻机的接驳机构是测绘以后的仿制，没有原始图纸，精度没保障。所以，就是个接驳机构出了问题。”仔细观察了半，梁宋松果断的下结论，认为还是光刻机主体系统出了故障。

他这套理论倒是有点道理，可跟两套系统组合以后的质量缺陷有啥联系？

故此，万宁古根本不同意梁宋松的意见，“激光光路系统和光刻机主体系统是刚性连接，跟这套接驳机构有啥关系？”

刚性连接只要保证连接机构的稳定就行，不会对两套机构的性能稳定性造成影响。再了，这套接驳机构使用液压锁定方式来确保稳定性，根本不会影响光刻机两套系统的稳定性。

万宁古对光刻机的结构非常熟悉，一下子就排除了梁宋松的论断。按照他的设想，众人不要在这套接驳机构的稳定性上做深层挖掘。

这时，眉头紧锁的许振鸣稍稍一抬眉，瞥了一眼身旁的万宁古。“老万，光刻机的震动量、电磁杂波干扰等方面，会不会影响到光刻机的稳定性？”

“嗯…肯定会有影响的。要不然，光刻机的工作环境要求非常高，基础要有防震动设施，现场电磁杂波要做屏蔽措施。”

万宁古皱着眉头道，心里还在考虑着其他的影响因素。在他看来，这次检测要麻烦许多了，要把光刻机主体系统的组件一一拆开，分开检查测试才校

而这时，站在不远处的郝宁教授忽然一拍大腿，“我知道是什么原因了，应该是震动波的共振造成的，或者是电磁杂波频率跟激光波的频率有互相干扰。”

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