芯片的开发需要过程。
从沙子做成可使用的芯片,第一步就是就是要把制备半导体级别的硅锭。
这个时代普遍采用8英寸(200mm)直径的晶圆,各大主流厂家正在攻关更大直径的12英寸的相关技术。
在科院半导体材料研究所,科研人员正紧张的注视仪器中显示的各项数据。
王岸然也感受到气氛的凝重,半导体晶圆研究是华芯科技第一批和科院合作的重大项目之一。
目前正在开展的6英寸(150mm)直径的晶圆拉伸,采用的技术也是国际上最为成熟的CZ直拉法。
“加热!”
“目前坩埚炉温度1350度。”
“安置籽晶准备,3,2,1,开始。”
“接触!”
随着钱俊杰一声令下,固定在旋转卡盘上的籽晶按照设计好的速度缓缓旋转。
坩埚炉中,伴随这籽晶的提升,在底部的单晶硅开始生长。
数据可以通过安装在卡盘上的应力传感器得知。
均匀生长的硅锭,应力应该不断增加,在监视器上的显示应该是一条线性的直线。
这条直线在允许的范围之内,可以初步断定单晶的生长均匀,不过要确认硅锭的质量,还需要一系列的复杂测试,但现在就卡在邻一步。
就在各参测人员大气都不敢出一声的时候,报警器上突然红光闪烁。
“快,停止提升!”
操作人员赶紧按下控制按钮,卡盘的提升立刻停止。
不过显然已经晚了,钱俊杰看着监视器上,应力直线的线头猛然下探,这预示着单晶硅的生生长已经断裂,实验失败。
钱俊杰摇摇头,对身旁一名三四十岁的工作人员道:“清理坩埚,准备试验数据分析。”
安排完善后的事,钱俊杰走到王岸然身边,道:“王总,很遗憾,又失败了,你要是感兴趣的话,请到会议室,我当面向你汇报工作。”
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