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一九六一年,GCA是第一家制造商业步进和重复掩模减少设备的公司;七五年,推出了首个用于抗蚀剂加工的晶圆轨道;七八年,推出DSW4800、第一个成功的晶圆光刻机;八五年研发出第一台为贝尔实验室开发的DUV步进投影式光刻机。
技术实力雄厚。
八八年,GeneralSignal以七千六百万美元收购了陷入财务困境的GCA,随后,Sematech资助GCA开发KrF光刻机。
前世因为美国人不准ASML生产的EUV光刻机卖给国内,讨论光刻机文章经常出现在网络上,爱国的知识分子义愤填膺,知识无国界只是一句谎言。
光刻机的技术迭代历程分为五代,第一代为g-line,波长436nm接近式光刻机、芯片制程800-250nm;第二代为i-line,波长365nm接近式光刻机、芯片制程800-250nm;第三代为KrF,波长248扫描投影式光刻机、芯片制程180-130nm;第四代为ArF,波长193nm浸入步进式或步进投影式光刻机,浸入步进式的芯片制程45-7nm,步进投影式的芯片制程130-65nm;第五代为EUV,波长为13.5nm,极紫外式芯片制程7-3nm。
九零年,刚进入光刻机设备领域不久的SVG,大股东硅谷集团曾试图以七千万美元的价格收购陷入亏损的GCA,但交易未成,然而,SVG却成功地以二千万美元收购了P&E的光刻业务,获得了P&E与IBM联合开发的下一代步进扫描系统Mi。
GCA是一家总部在硅谷,在纽约证券市场上市的高科技公司,总股本八亿八千七百二十多万股(全流通),GeneralSignal拥有四亿一千七百万多股,为公司第一大股东,占股47%。
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