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EUVLLc联盟的研发费用出资比例中，牵头的美国能源部出30%，Intel和GcA各出20%，otorola、Ib、It、Ad和hp各出4%，icron和cyer等其他33家科技企业和研究机构共出10%，今后享受的权利同出资比例相同。

GcA需要出资的20%中，以前的EUV研究成果折算15%。

GcA这些年为了研发EUV投资了1.5亿美元，取得了不少有关EUV的研究成果，但离成功还有很远的距离，以GcA一家之力很难完成，汤普森院长不得不放弃，出面邀请美国能源部和Intel等光刻机和半导体产业的同行，美国能源部牵头成立了EUVLLc。

美国能源部的三家国家实验室、Intel和cyer等公司这些年也在研发EUV，但远远落后在GcA的后面，汤普森院士众望所归，成了EUVLLc联盟的cto。

作为GcA的法人兼董事长，孙健乐见其成。

光刻机公司迟迟不能攻克193n波长的世界级难题，65n制程工艺光刻机迟迟见不到身影，GcA和Nikon着急，但最着急的是财大气粗的Intel和Ad，没有下一代光刻机，Intel和Ad研发的下一代cpU只能成为研发成果，不能变成产品，不能上市，消费者将失去购买欲望，公司的销售和利润锐减，投资者用脚投票，股价下跌，市值减少，研发费用减少，研发受阻，会发生一系列连锁反应。

前世，由于迟迟不能攻克193n波长的世界级难题，光刻机制程工艺一直停留在90n，摩尔定律失效！直到2007年左右，ASL生产的世界第一台193n波长的浸没式光刻机问世，一举突破了90n制程工艺，65n、45n、32n、28n、20n、14n、10n……制程工艺越来越细，制造难度越来越大。

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